SNE-ALPHA
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SNE-ALPHA
- 고 정밀 Stage Navigation 기능
- 오차율 5um 이하 고 정밀 모터
- 동급 유일 5축 모터스테이지 기본 탑재
- 높은 품질 안정성
- 높은 필라멘트 안정성 및 수명
- 제진 설계를 통한 외부 진동 노이즈 감소
- 사용자 편의기능 강화
- NEW 3세대 소프트웨어 탑재
- 도어 닫힘 시 자동 진공설정
- Navigation Image 자동 캡쳐
- 빠른 로딩시간
- 진공설정 90초 이내
- 진공해제 15초 이내
- 부가 SW 무상 제공
- 대면적 스캔
- 3D 랜더링
제품설명

Electron System | Resolution | 5nm (30kV, SE) |
Magnification | x30 ~ 250,000 | |
Accelerating Voltage | 1/5/10/15/20/30 kV(6 step) | |
Detector | Standard : Secondary Electron (SEI) Optional : Back scattered Electron (BSE) | |
Electron Gun | Pre-centered Tungsten filament cartidge | |
Stage System | Stage Traverse | X, Y : 40mm / R : 360°, Z : 0~40mm / T : -45~90° |
Max. Sample Size | up to 80mm (Diameter) up to 40mm (Height) | |
Image System | Automation Function | Auto Start, Auto Focus |
Image Format | BMP, JPEG, PNGM, TIFF | |
Vacuum System | Vacuum Mode | High / Low (BSE mode) |
Vacuum Pump | Rotary Pump + Turbo molecular pump | |
Dimensions | Main Unit | 300(W)×460(D)×600(H)mm (78kg) |
Controller Unit | 256(W)×220(D)×90(H)mm (4kg) | |
Rotary Pump | 400(W)×160(D)×340(H)mm (24kg) |
Ion spotter coater
EDS(Bruker)
EDS(Oxford)
Cooling stage
EBSD
Raman
CL
EBIC
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