SEM3200
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SEM3200
사용하기 편리한 대면적 고성능 주사전자현미경
SEM 3200 은 탁월하고 포괄적인 기능을 갖춘 다용도 텅스텐 필라멘트 주사전자현미경 입니다. 낮은 가속전압에서도 수준 높은 고 해상도 영상을 분석할 수 있으며, 폭넓은 Chamber 구성으로 다수의 확장성과 다양한 조작법을 자동화하여 편리하고 효율적으로 운영할 수 있습니다.
사용자가 어려워하는 기계적인 Align 작업이 필요 없도록 설계되었으며, 챔버 내부 및 시료 표면 광학 이미지를 통해 안전하고 빠르게 샘플위치를 찾아갈 수 있습니다.
세계 최고 수준의 SEM3200 을 경험해 보십시오.
| 전자총 | Tungsten(W) Filament |
|---|---|
| 분해능 | 3nm @ 30kV (SE) |
| 배율 | 1x ~ 300,000x (Screen mode Max. 1,000,000x) |
| 가속전압 | 200V ~ 30kV |
| 검출기 | ETD (SE Detector) * BSE Detector (Option) |
| 스테이지 | 5-Axis Automatic |
| 진공시스템 | High Vacuum (Better than 5x10-4Pa), * Low Vacuum (5~1000Pa) (Option) |
제품설명
| Model | SEM3200 |
| A. Electro-Optical Systems | |
| 1. Electron Gun | Tungsten(W) Filament |
| 2. Resolution | 3nm @ 30kV (SE) |
| 3. Magnification | 1x ~ 300,000x (Screen mode max 1,000,000x) |
| 4. Acceleration Voltage | 200V ~ 30kV |
| 5. Probe Current | ≥1.2uA, Real-time display |
| B. Imaging Systems | |
| 1. Detector | ETD(Everhart-Thornley) - SE Detector BSE Detector (Option) Low Vacuum SE Detector (Option) |
| 2. Image Format | TIFF, JPG, BMP, PNG |
| C. Vacuum System | |
| 1. Vacuum Mode | High Vacuum (Better than 5x10-4Pa) Low Vacuum (5 ~ 1000Pa) |
| 2. Control Mode | Fully Automated Control |
| 3. Pump Type | Molecular Pump : ≥240 L/s Mechanical Pump : 16m3/h |
| D. Specimen Chamber | |
| 1. Camera | 1) Optical Navigation, Vertical angle camera 2) Monitoring in the specimen Chamber |
| 2. Specimen Table | 5-Axis Automatic |
| 3. Stage Range | X : 120mm, Y : 115mm, Z : 50mm, R : 360˚, Tilt : -10˚ ~ +90˚ |
| 4. Max. Sample size | Dia : 270mm, Height : 53mm |