SEM5000X
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SEM5000X
Ultra High Resolution Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope
SEM5000X 는 0.6nm @15kV 및 1.0nm @1kV 의 획기적인 분해능을 갖춘 초 고해상도 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM) 입니다. 최적화된 컬럼 설계로 전체적인 수차를 30% 이상 감소 시켰으며 “Super Tunnel” 기술 및 고해상도 대물렌즈 설계를 통해 SEM5000X는 저 전압 이미징 해상도를 더욱 향상시킨 모델 입니다.
탁월한 해상도와 안정성을 통해 고급 나노구조 및 나노소재 연구는 물론 미세화된 Chip의 반도체 등의 연구, 개발 및 제조분야에서도 성능적 이점을 효율적으로 활용할 수 있습니다.
유센트릭 5축 스테이지 적용으로 위치제어의 정확도와 안정성이 매우 우수하며, 최대 8인치 크기의 AirLock 모듈 장착으로 시료의 오염방지 및 교체 대기시간을 단축할 수 있습니다.
| 전자총 | Ultra High Resolution Schottky Field Emission |
|---|---|
| 분해능 | 0.6nm @ 15kV (SE) |
| 배율 | 1x ~ 2,500,000x |
| 가속전압 | 20V ~ 30kV |
| 검출기 | ETD (SE Detector) / Inlens Detector / BSE Detector (Option) |
| 스테이지 | Mechanical Eucentric 5-Axis Automatic |
| 진공시스템 | High Vacuum / AirLock module (4inch, 8inch) (Option) |
제품설명
| Model | SEM5000X |
| A. Electro-Optical Systems | |
| 1. Electron Gun | Schottky field emission Electron |
| 2. Resolution | 0.6nm @ 15kV (SE) / 1.0nm @ 1kV (SE) |
| 3. Magnification | 1x ~ 2,500,000x |
| 4. Acceleration Voltage | 20V ~ 30kV |
| 5. Probe Current | 1pA ~ 20nA |
| B. Imaging Systems | |
| 1. Detector | ETD(Everhart-Thornley) - SE Detector Inlens SE Detector BSE Detector (Option) |
| 2. Image Format | TIFF, JPG, BMP, PNG |
| C. Vacuum System | |
| 1. Vacuum Mode | High Vacuum (Better than 5x10-4Pa) |
| 2. Control Mode | Fully Automated Control |
| 3. Pump Type | Molecular Pump : ≥240 L/s Mechanical Pump : 240 L/min Ion Pump : ≥25 L/s x 2ea |
| D. Specimen Chamber | |
| 1. Camera | 1) Optical Navigation, Vertical angle camera 2) Monitoring in the specimen Chamber |
| 2. Specimen Table | 5-Axis Mechanical Eucentric Specimen stage |
| 3. Stage Range | X : 110mm, Y : 110mm, Z : 65mm R : 360˚, Tilt : -10˚ ~ +70˚ |
| 4. Max. Sample size | Dia : 260mm, Height : 70mm |
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