SEM5000Pro
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SEM5000Pro
Low voltage High Resolution Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope
SEM5000Pro 는 고 해상도 이미징 분석능력을 갖춘 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM)으로 최첨단의 전자 광학 컬럼 설계와 고압 전자 빔 터널(Super Tunnel) 기술을 적용하였습니다.
이는 저 수차 및 MFL 대물렌즈를 통해 저 전압 에서도 고 해상도 이미지를 구현하며, 자성 시료도 분석할 수 있습니다.
SEM5000Pro 는 ETD Detector 와 Inlens Detector 를 기본 장착되며, 가속전압 15kV 에서 0.8nm 의 뛰어난 분해능을 갖추고 있습니다. 또한 1kV 에서 1.2nm 의 저 전압 고 분해능을 구현하여 낮은 가속전압에서는 시료의 전도성 코팅 없이 전자 빔 Damage를 최소화하여 수준 높은 결과물을 획득할 수 있습니다.
| 전자총 | Low voltage High Resolution Schottky Field Emission |
|---|---|
| 분해능 | 0.8nm @ 15kV (SE) |
| 배율 | 1x ~ 2,500,000x |
| 가속전압 | 20V ~ 30kV |
| 검출기 | ETD (SE Detector) / Inlens Detector / BSE Detector (Option) |
| 스테이지 | 5-Axis Automatic |
| 진공시스템 | High Vacuum / AirLock module (4inch, 8inch) (Option) |
제품설명
| Model | SEM5000Pro |
| A. Electro-Optical Systems | |
| 1. Electron Gun | Schottky field emission Electron |
| 2. Resolution | 0.8nm @ 15kV (SE) / 1.2nm @ 1kV (SE) |
| 3. Magnification | 1x ~ 2,500,000x |
| 4. Acceleration Voltage | 20V ~ 30kV |
| 5. Probe Current | 1pA~20nA |
| B. Imaging Systems | |
| 1. Detector | ETD(Everhart-Thornley) - SE Detector Inlens SE Detector BSE Detector (Option |
| 2. Image Format | TIFF, JPG, BMP, PNG |
| C. Vacuum System | |
| 1. Vacuum Mode | High Vacuum (Better than 5x10-4Pa) |
| 2. Control Mode | Fully Automated Control |
| 3. Pump Type | Molecular Pump : ≥240 L/s Mechanical Pump : 240 L/min Ion Pump : ≥25 L/s x 2ea |
| D. Specimen Chamber | |
| 1. Camera | 1) Optical Navigation, Vertical angle camera 2) Monitoring in the specimen Chamber |
| 2. Specimen Table | 5-Axis Automatic |
| 3. Stage Range | X : 110mm, Y : 110mm, Z : 50mm R : 360˚, Tilt : -10˚ ~ +70˚ |
| 4. Max. Sample size | Dia : 260mm, Height : 53mm |
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