SEM4000Pro
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SEM4000Pro
Large beam current & high Brightness Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope
SEM4000Pro은 고 휘도, 긴 수명의 쇼트키 전계방출형 주사전자현미경(FE-SEM) 입니다. 0.9nm 의 고 분해능을 갖추고 있으며, Tabletop-SEM 및 Normal-SEM 에 비하여 휘도가 높아 수십나노 수준의 미세입자구조 분석에는 FE-SEM 에서 훌륭한 결과물을 획득할 수 있습니다.
대형 Chamber 구조로 큰 샘플의 탑재가 간편하며, AirLock 모듈 탑재 시 빠르게 시료교환이 가능합니다. SEM4000Pro 는 SE+BSE Image, Low vacuum mode, Low vacuum SE Detector 등 모든 기능이 기본으로 제공되어 분석범위를 다양화 할 수 있는 고급형 FE-SEM 입니다.
| 전자총 | High Brightness Schottky Field Emission |
|---|---|
| 분해능 | 0.9nm @ 30kV (SE) |
| 배율 | 1x ~ 1,000,000x |
| 가속전압 | 200V ~ 30kV |
| 검출기 | ETD (SE Detector) / BSE Detector / LVD (Low Vacuum SE Detector) |
| 스테이지 | 5-Axis Automatic |
| 진공시스템 | High Vacuum / Low Vacuum (Max. 180 Pa) |
제품설명
| Model | SEM4000Pro |
| A. Electro-Optical Systems | |
| 1. Electron Gun | Schottky field emission Filament |
| 2. Resolution | 0.9nm @ 30kV (SE) |
| 3. Magnification | 1x ~ 1,000,000x |
| 4. Acceleration Voltage | 200V ~ 30kV |
| 5. Probe Current | 1pA~40nA |
| B. Imaging Systems | |
| 1. Detector | ETD(Everhart-Thornley) - SE Detector BSE Detector Low Vacuum SE Detector |
| 2. Image Format | TIFF, JPG, BMP, PNG |
| C. Vacuum System | |
| 1. Vacuum Mode | High Vacuum (Better than 5x10-4Pa) Low Vacuum (Max 180Pa) |
| 2. Control Mode | Fully Automated Control |
| 3. Pump Type | Fully Automated Control Molecular Pump : ≥240 L/s Mechanical Pump : 240 L/min Ion Pump : ≥25 L/s x 2ea |
| D. Specimen Chamber | |
| 1. Camera | 1) Optical Navigation, Vertical angle camera 2) Monitoring in the specimen Chamber |
| 2. Specimen Table | Mechanical Eucentric 5-Axis Automatic |
| 3. Stage Range | X : 110mm, Y : 110mm, Z : 65mm R : 360˚, Tilt : -10˚ ~ +70˚ |
| 4. Max. Sample size | Dia : 260mm, Height : 70mm, 3kg |
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