DB500
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DB500
FIB-SEM Focused Ion Beam Scanning Electron Microscope
DB500 은 나노분석 및 시료준비를 위한 FIB(Focused Ion Beam) 컬럼을 적용한 FE-SEM(Field Emission-SEM)으로 ‘SuperTunnel’ 전자광학기술과 무자성 대물렌즈 설계가 적용되어 나노규모의 분석능력을 보장하는 저 전압 및 고 해상도 이온 컬럼 입니다. 이온 컬럼은 Ga+ 액체 금속 이온원으로 고도로 안정적이고 고품질의 이온 빔으로 용이하게 나노급 제작 능력을 보장합니다.
DB500은 Nano-manipulator, 가스주입시스템, 대물렌즈용 전기 오염방지 메커니즘, 24개의 확장포트를 통합하여 종합적인 구성과 확장성을 갖춘 만능 나노분석 및 제작 플랫폼 입니다.
| Electron Gun Type | High Brightness Schottky Field Emission |
|---|---|
| Resolution | 0.9nm @ 15kV (SE) |
| Acceleration Voltage | 20V ~ 30kV |
| Ion Source Type | Liquid Gallium Ion Source |
| Resolution | 3.0nm @ 30kV (SE) |
| Acceleration Voltage | 500V ~ 30kV |
제품설명
| Model | DB500 |
| A. Electro-Optical Systems | |
| 1. Electron Gun | High Brightness Schottky field emission Electron |
| 2. Resolution | 0.9nm @ 15kV |
| 3. Acceleration Voltage | 20V ~ 30kV |
| B. Ion Beam System | |
| 1. Ion Source Type | Liquid Gallium Ion Source |
| 2. Resolution | 3nm @ 30kV |
| 3. Acceleration Voltage | 500V ~ 30kV |
| C. Specimen Chamber | |
| 1. Vacuum System | Fully Automatic Control, Oil-free Vacuum System |
| 2. Cameras | Three Cameras (Optical navigation + chamber monitor x2) |
| 3. Stage Type | 5-axis Mechanical Eucentric Specimen Stage |
| 4. Stage Range | X=110 mm, Y=110 mm, Z=65 mm, T: -10°~+70°, R:360° |
| D. Detector | |
| 1. Standard | In-lens Detector Everhart=Thornley Detector(ETD) |
| 2. Optional | Retractable Back-Scattered Electron Detector (BSED) Retractable Scanning Transmission Electron Microscopy Detector (STEM) Nano-manipulator Gas Injection System Plasma Cleaner Specimen Exchange Loadlock |